Methyltrichlorsilan med høj renhed

Methyltrichlorsilan med høj renhed (CH₃SiCl₃, CAS 75-79-6) er en farveløs, rygende væske, der reagerer voldsomt med fugt og frigiver hydrogenchlorid. Kogende ved 66,1-66,4 grader er det frit opløseligt i vandfri organiske opløsningsmidler. Som et nøglemellemprodukt i organisk siliciumindustrien er MTS med høj -renhed i vid udstrækning brugt til fremstilling af methylsilikoneharpikser, silankoblingsmidler (f.eks. methyltrimethoxysilan), CVD-precursor til halvleder- og SiC-tynde film og SiO₂-beklædningsaflejring i præforme til optiske fibre. Tilgængelig i industriel kvalitet (større end eller lig med 99,0%) og høj renhedsgrad (større end eller lig med 99,9%). Klassificeret som vandreaktiv og ætsende (UN 2985, Klasse 4.3+8, PG II); skal håndteres under tør nitrogenbeskyttelse, strengt isoleret fra vand, alkoholer og baser.