Siliciumtetrachlorid

Siliciumtetrachlorid (SiCl₄, CAS 10026-04-7) er en farveløs til lysegul rygende væske, der reagerer voldsomt med fugt og frigiver tætte hvide dampe af hydrogenchlorid. Det koger ved 57,65 grader og er frit opløseligt i vandfri organiske opløsningsmidler såsom benzen, chloroform og carbontetrachlorid. Som en vigtig siliciumkilde anvendes SiCl4 i vid udstrækning til fremstilling af optiske fiberpræforme, siliciumdioxid af halvlederkvalitet, polysilicium og organosiliciummonomerer. Det anvendes også i CVD-processer til SiO₂- og Si₃N4-tynde film, såvel som til fremstilling af pyrogen silica og silankoblingsmidler. Klassificeret som et ætsende stof (UN 1818, klasse 8, PG II); skal håndteres under tør nitrogenbeskyttelse, strengt isoleret fra vand, alkoholer og baser.