Trichlorsilan

Trichlorsilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) er en farveløs, meget flygtig væske med en skarp, kvælende hydrogenchloridlugt. Koger ved 31,8 grader og reagerer voldsomt med fugt, er det det vigtigste råmateriale til Siemens-processen til fremstilling af polysilicium med høj{10}}renhed til fotovoltaiske solceller og halvlederwafers. TCS er også meget udbredt i silicium epitaksial wafer vækst, organosilicium syntese (silikoneolier, gummier, harpikser, koblingsmidler), CVD silicium tyndfilm aflejring, og som et selektivt reduktionsmiddel i organisk syntese. Fås i industriel kvalitet (større end eller lig med 99,0%) og elektronisk kvalitet (op til 9N renhed). Klassificeret som vandreaktiv og meget brandfarlig (UN 1295, Klasse 4.3+2.3, PG I) med et ekstremt bredt eksplosionsområde på 1,2 %-90,5 %; må kun håndteres under strengt vandfrie forhold med tør nitrogenbeskyttelse.